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            反射率/透过率/光学损耗测试仪

            反射率/透过率/光学损耗测试仪

            采用光腔衰荡技术分别或同时测量高反/高透激光薄膜元件的反射率(R)、透过率(T)或光学损耗(δ,吸收与散射损耗之和),最高测量精度优于1ppm。

            常规属性
            型号HRM-λHRTM-λHRTM/M-λ
            功能R、T或δ测量R/T/δ同时测量R/T/δ高分辨成像
            重复性测试精度≤1ppm
            测试波长635nm, 1064nm, 1315nm或客户定制
            测试样品口径Φ5mm~Φ500mm(依客户需求)
            测试角度5°~45°(依客户需求)
            测量动态范围

            高反元件R或高透元件T:99.8%~≥99.9999%

            高反元件T或高透元件R:0.2ppm~2000ppm

            高反元件或高透元件δ:0.2ppm~2000ppm

            最高空间分辨率优于100μm


            典型应用

            高反元件R、T、δ同时测量结果:


            图片3.png


            高反元件R、T、δ高分辨成像结果:


            图片4.jpg


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