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            超精密自由曲面三坐标测量机

            超精密自由曲面三坐标测量机

            ISARA400是一台多探针3D坐标测量机,能够实现对大口径和复杂工件( 自由曲面) 的纳米级测量。借助独有的全方位探针技术,ISARA400还可以测量工件的几何形状,包括平面、孔类及曲面等,并且拥有其它传统坐标测量机无法比拟的精度。


            产品特性

             ◆ 以纳米级分辨率,3D测量复杂表面与自由曲面光学器件的度量工具

             ◆ 在所有三个方向上的测量不确定度均低至50 nm(1D)

             ◆ 与同类三坐标测量机相比,测量范围显著增加到400 x 400 x 100 mm

             ◆ 将参考光学表面转化为机械参考的能力

             ◆ 完全可追溯的测量

             ◆ 多探针仪器,通过运动型探针支架实现

             ◆ 所有导轨均带有多孔介质空气轴承,可实现平稳、无摩擦的运动,是3D扫描测量的理想之选


            IBS.png

            应用范围

             ◆ 大口径光学元件面形测量

             ◆ 几何形貌测量

             ◆ 自由曲面光学点阵测量

             ◆ 阵列小工件测量

             ◆ ( 超) 半球的面形测量

             ◆ 非球面镜和模型的扫描测量


            性能参数
            测量系统

            激光干涉测量分辨率

            (X, Y 与Z)

            1.6 nm
            1D 测量不确定度

            (如:单方向一维测量)

            X 轴Y 轴Z 轴
            52nm49nm57nm
            2D 测量不确定度

            (如:二维轮廓测量)

            XZ 轴YZ 轴XY 轴
            72nm70nm 71nm
            3D 测量不确定度

            (如:三维自由曲面测量)

            109nm
            测量范围(XYZ)400mmX400mmX100mm


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