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            scia 射频离子源 RF系列

            离子束与等离子体及其控制,是scia的技术核心,其所有设备的独特之处,都在于此。

            产品介绍

            射频RF离子源采用ICP激发等离子体,内置RF匹配与产生器,具有多种圆形口径,最大直径450mm。 可移动的离子源,自带有射频匹配器,特别适合于离子束抛光的应用。


            系统参数


            scia 射频离子源 RF系列

            型 号

            RF37-i/e

            RF80-i

            RF120-e

            RF350-e

            RF450-e

            PI400-e

            离子束直径

            Φ37mm

            Φ80mm

            Φ110mm

            Φ350mm

            Φ450mm

            -

            激发机制

            ICP 等离子体激发,内置 RF 匹配与产生器

            300W, 13.56MHz

            600W, 13.56MHz

            1000W, 13.56MHz

            1000W, 4MHz

            2000W, 2MHz

            1000W, 4MHz

            最大离子束流

            65mA (25mA/cm2)

            150mA

            400mA (4mA/cm2)

            1000mA (1mA/cm2)

            2000mA (1mA/cm2)

            -

            栅网系统

            3-grids

            -

            栅网材料

            石墨/钼(平面或球面)

            石墨/

            石墨/

            优点

            长工作时间免维护、高稳定性

            可聚焦、可内置

            长工作时间免维护、高稳定性

            可聚焦、可内置

            长工作时间免维护、高稳定性、外置

            应用

            离子束抛光 IBT/IBF

             

            离子束抛光 IBT/IBF

             

            离子束刻蚀 IBE/IBF

            离子束溅射镀膜IBD

            离子束刻蚀 

            IBE/IBM/RIBE/CAIBE

            离子束溅射镀膜IBD, 离子束清洗

            等离子体

            刻蚀、清洗


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