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            AccuFiz D 动态相移型

            AccuFiz D型是一种基于偏振光干涉原理的共光路菲索型动态干涉仪,采用短相干光源,相干长度约200微米;这使它既保持了菲索型的通常特点,又保持了动态干涉仪的特性,抗振动,对气流扰动不敏感,并可用于一些特殊的测量需求,特别适合平行平板测量、材料均匀性测量、大口径凸球面的直接测量等。

            典型应用

            1. 远程空腔测量。  只要保证透射参考面(TF或TS)距样品最后一个反射面的光程小于2m, 即可进行测量;而无需担心TF或TS离干涉仪本身的距离引起的振动与气流问题。最典型的应用,是大口径凸球面或凸非球面的测量,例如JSWT次镜的测量。

            2. 平行平板的测量,可以直接测量厚度大于200μm的平行平板,不产生干扰条纹

            3.均匀性的测量,可实现定位干涉,只需保证样品平行度足够好,就可以直接测量,对样品面形精度没有特殊要求。

            4.平面元件应力双折射的测量

            5.平面元件的等厚差的测量

            6.作为主机,进行动态大口径干涉仪自研


            常规属性

            采集模式:采用相位相关探测器瞬时相移式

            出光口径:100mm,150mm,或其它定制尺寸

            工作波段:636nm,相干长度200μm

            相机像素:2K x 2K pexels,12bit

            腔长:0-500 mm或0-2 m

            外形尺寸:干涉仪:51.4 x 23.8 x 20.3 cm

                      光源:28.2 x 68.2 x 17.0 cm

            干涉仪重量:13.6kg

            系统性能

            样品反射率:1-100%(需衰减)

            RMS重复性:0.0001waves (0.06nm)*

            RMS精度:0.001waves(0.6nm)**


            *采用10个数据RMS值的1σ方差作为结果;每个数据是16次测试的平均

            **采用10个数据,每个数据是16次测试的平均;以这10个数据的平均值作为参考值;以每一个数据与参考值的差来计算RMS平均作为结果


            配置选项

            - 可选150mm 输出口径

            - 可选4”TF 与RF平面标准镜

            - 可选4”TS (1/20 wv PVr) : F/0.65, F/0.75, F/1, F/1.5, F/2.4, F/3.3, F/4.9, F/7.1

            - 可选6”TS (1/20 wv PVr): F/0.75, F/1.1, F/1.6, F/2.4, F/3.5, F/5.0, F.7.4

            - 可选4”或6”样品5维调整架


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